SPP Process Technology Systems (SPTS) y Griffith University de Australia firman acuerdo

Desarrollo conjunto para crear tecnología de carburo de silicio (SiC) en silicio

El acuerdo de tres años tiene como meta comercializar SiC-on-Si como un material semiconductor viable para dispositivos de LED, potencia y MEMS

SAN JOSE, CALIFORNIA, y BRISBANE, AUSTRALIA--(Marketwire - May 26, 2011) - SPP Process Technology Systems (SPTS), un fabricante con liderazgo de equipos de grabado y deposición con plasma y de procesamiento térmico para las industrias de semiconductores y afines, y Griffith University en Australia anunciaron hoy un acuerdo de desarrollo conjunto (JDA, por sus siglas en inglés) que se enfoca en la comercialización de la tecnología de carburo de silicio (SiC) en silicio (Si) (SiC on Si, por sus siglas en inglés). Los sustratos SiC on Si tienen una amplia gama de aplicaciones para los mercados de crecimiento rápido de diodos emisores de luz (LED, por sus siglas en inglés), sistemas microelectromecánicos (MEMS, por sus siglas en inglés) y potencia.
El SiC es un sustrato importante para cultivar las películas de nitruro de galio (GaN) que se usan para fabricar LEDs. La alta resistencia a la radiación, la resistencia mecánica y las propiedades térmicas del SiC también lo convierten en un reemplazo apropiado para el silicio en dispositivos de MEMS para entornos rigurosos. Además, el SiC se usa para crear dispositivos semiconductores para aplicaciones de alto poder y alta frecuencia donde las propiedades eléctricas del SiC son considerablemente superiores a las del silicio común. La tecnología desarrollada por el equipo investigador en el Queensland Microtechnology Facility (QMF), ubicado en el Queensland Micro- and Nanotechnology Centre (QMNC) de Griffith University, ha demostrado la habilidad de cultivar SiC cristalino directamente en obleas de silicio de bajo costo. Bajo el JDA, SPTS desarrollará la pericia del proceso térmico y de equipos necesaria para comercializar la tecnología.

Las tres tecnologías claves que se requieren para dispositivos SiC on Si son la deposición, el grabado y la oxidación de SiC. El centro QMNC ha orientado comercialmente la investigación hacia estas áreas. "El JDA permite transferir esta tecnología de proceso para deposición de SiC a actividades de investigación y desarrollo de dispositivos, además de ofrecer un puente a la fabricación en serie con procesamiento por lotes para obleas de Si de hasta 300 mm de diámetro. La experiencia de SPTS en procesamiento térmico la convierte en un socio atractivo", comentó Alan Iacopi, director de operaciones de QMNC. "El JDA es un paso importante en la comercialización de nuestros esfuerzos de investigación del SiC, especialmente con un socio con el alcance mundial de SPTS", concordó Sima Dimitrijev, líder del proyecto y vice-director del QMNC.

"Como un líder del mercado que proporciona bienes de producción a los mercados de MEMS, LED y potencia, SPTS analiza constantemente oportunidades de desarrollo avanzado. Nos complace mucho tener esta oportunidad de trabajar con investigadores destacados de Griffith University para comercializar su tecnología de SiC on Si", dijo William Johnson, presidente y director ejecutivo de SPTS. "El brindar conocimiento sobre producción a esta colaboración y ayudar a desarrollar y ofrecer nueva tecnología de procesamiento de materiales es una estrategia de negocios importante. Este JDA mejora todavía más la cartera de productos que ofrecemos en nuestros mercados, y ayudará a ampliar nuestra clientela".

Acerca de SPP Process Technology Systems

SPP Process Technology Systems fue fundada en octubre de 2009 como el vehículo para la fusión de Surface Technology Systems y los activos adquiridos de Aviza Technology. La empresa es una filial de propiedad integral de Sumitomo Precision Products Co., Ltd., y diseña, fabrica, vende y apoya bienes de producción y tecnologías de proceso avanzados para semiconductores a la industria mundial de semiconductores y mercados afines. Estos productos se usan en una variedad de segmentos de mercado, entre ellos I&D, almacenamiento de datos, MEMS y nanotecnología, empaquetado 3D de avanzada, LEDs y circuitos integrados de potencia para comunicaciones.

Si desea más información sobre SPTS, sírvase visitar www.spp-pts.com.

Acerca de QMNC y QMF

El Queensland Micro- and Nanotechnology Centre es un centro de investigación de ciencias e ingeniería con sede en Griffith University, que se concentra en temas de microtecnología y nanotecnología esenciales para el desarrollo de sistemas ecológicos e inteligentes. El centro agrupa investigadores expertos en desarrollo de materiales, uso de sensores, ingeniería microelectrónica y microtecnología y la teoría fundamental de la materia condensada, que trabajan en las disciplinas de física, química, matemática aplicada e ingeniería. El Queensland Microtechnology Facility, dentro del QMNC, se enfoca en llevar la tecnología de SiC on Si a la comercialización. Fundado por el gobierno estatal de Queensland y la National Fabrication Facility de Australia, este centro brinda una gran capacidad de procesamiento para la fabricación de obleas de silicio, además de instrumentar la investigación y desarrollo de material de SiC on Si para dispositivos mecánicos y semiconductores.

Si desea más información, sírvase visitar www.griffith.edu.au/qmnc.